مانیتورینگ اتاق تمیز
بنا به تعریف موجود در استاندارد ISO 14644 پایش (مانیتورینگ) بصورت زیر تعریف می شود :
جمع آوری مداوم اطلاعات و داده ها بوسیله اندازه گیری یا مشاهده پارامترهای بحرانی، مطابق یک روش و نقشه تعریف شده جهت تهیه شواهد از عملکرد و وضعیت یک اتاق تمیز یا یک منطقه تمیز.
مطابقت پیوسته با تمیزی هوای مورد نیاز در کلین روم ( کلاس ISO ) باید با استفاده از مانیتورینگ و انجام تست های دوره ای از پیش تعیین شده و مستند احراز شود. اطلاعات بدست آمده از مانیتورینگ برای نمایش وضعیت کلین روم استفاده می شود و می توان از آن برای تعیین دوره تناوب تست های مربوطه استفاده کرد.
برنامه مدون پایش و تست کلین روم ها بر اساس ارزیابی ریسک است و موارد زیر در آن در نظر گرفته می شود :
پارامتر هایی که باید پایش شوند
تعریف روش های اندازه گیری، صحت و دقت اندازه گیری و ابزار مورد نیاز
برنامه موقعیت های اندازه گیری در کلین روم ، شامل مختصات در سه بعد
دوره تناوب نمونه گیری
ملزومات ثبت و بایگانی کردن داده های خام
مشخصات تکنیک و روش های ارزیابی داده ها، شامل روش های آماری و آماده سازی گزارش ها
ملزومات کالیبراسیون ابزار و عملکرد سیستم ها
شرایط تایید، شامل ذکر مقادیر هشدار و مقادیر اقدام
نقشه اقدامات از پیش تعیین شده در هنگام رسیدن به سطوح هشدار یا اقدام
بصورت کلی دو نوع پایش در کلین روم ها متداول است :
الف) پایش دائم و برخط ( آنلاین ) :
با توجه به اهمیت فشار و دما و رطوبت در کلین روم ها پایش این پارامتر ها غالبا از نوع آنلاین و دائم می باشد. در اتاق های تمیز دما، رطوبت و فشار علاوه بر این که بر شرایط آسایش و راحتی افراد موثر است، بر سلامت محصول تولیدی در اتاق تمیز یا فرآیندهای در حال انجام در آن تاثیر می گذارد. مثلا رطوبت زیاد در اتاق های تمیزی که مخصوص صنایع میکروالکترونیک می باشد، می تواند باعث اختلال در فرآیند ساخت شود و مثلا سنسور تولیدی در کلین روم مربوطه کارایی لازم را نداشته باشد.
همچنین فشار محیط در حفظ تمیزی کلین روم ها بسیار موثر است. بر طبق یک قاعده کلی غالبا فشار مناطق تمیز تر در مجموعه اتاق های تمیز باید دارای فشار بیشتری نسبت به مناطق مجاور خود باشند (فشار مثبت) تا هوا از کلین روم با درجه تمیزی پایین تر نتواند وارد کلین روم تمیز تر شود. بنابراین کنترل و مانیتورینگ فشار نسبی نیز در اتاق های تمیز بسیار مهم است.
بنابراین اگرچه در استاندارد ISO14644 بازه انجام تست های فشار و دما در اتاق های تمیز سالانه ذکر شده است اما با توجه به موارد ذکر شده در بالا غالبا این پارامتر ها بصورت دائمی پایش می شوند.
ب) پایش متناوب و دوره ای :
در این پایش در بازه های زمانی متوالی مشخص و تعریف شده، مجموعه ای از تست ها در اتاق تمیز انجام می شود و پایش کلین روم صورت می گیرد. آزمون تعیین تمرکز ذرات معلق در هوای اتاق تمیز مطابق ISO 14644 باید بصورت سالانه انجام شود.
مانیتورینگ بقیه شرایط کلین روم مانند دبی حجمی جریان هوا در اتاق های تمیز با جریان توربولنت یا سرعت هوا در اتاق های تمیز با جریان یکسویه، مطابق استاندارد ها در بازه های زمانی معین انجام می گیرد.
تمامی ابزار مورد استفاده در گروه تکین الکترونیک برای مانیتورینگ پارامتر های اتاق های تمیز دارای مدرک معتبر کالیبراسیون می باشند که در اختیار کارفرما قرار می گیرند.
با توجه به اهمیت تست شمارش ذرات در کلین روم، در ادامه به بعضی از مواردی که در تعیین برنامه شمارش ذرات در نظر گرفته می شود، اشاره شده است .
- اتوماتیک یا دستی بودن سیستم مانیتورینگ
- موقعیت اجزا سیستم
- سایز (های) ذراتی که قرار است شمرده شوند
- مناسب بودن سیستم برای پایش سایز ذره مورد نظر
- فرکانس نمونه گیری برای بدست آوردن انحرافات
- تعداد موقعیت های نمونه گیری ( شامل مختصات دقیق )
- کمینه حجم هوا در هر نمونه
- مدت زمان نمونه برداری در هر نمونه گیری
- جنس پراب نمونه گیری
باید توجه داشت که مانیتورینگ و تست شمارش ذرات در کلین روم ها برای دو کاربرد تعیین کلاس تمیزی اتاق تمیز و احراز صلاحیت دوباره پس از هر تغییری در کلین روم استفاده می شود.